2020阿v天堂网手机版-2020国产成人精品视频人-2020国产成人久久精品-2020国产精品-2020国产精品久久久久-2020国产精品视频

返回首頁

光刻曝光技術的主要流程及每個步驟的意義

來源:m.2axaiv.cn???時間:2023-01-06 07:18???點擊:202??編輯:admin 手機版

一、光刻曝光技術的主要流程及每個步驟的意義

光刻工藝主要步驟

1. 基片前處理

為確保光刻膠能和晶圓表面很好粘貼,形成平滑且結合得很好的膜,必須進行表面準備,保持表面干燥且干凈,

2. 涂光刻膠

涂膠的目標是在晶圓表面建立薄的、均勻的,并且沒有缺陷的光刻膠膜。

3. 前烘(軟烘焙)

前烘的目的是去除膠層內的溶劑,提高光刻膠與襯底的粘附力及膠膜的機械擦傷能力。

4. 對準和曝光(A&E)

保證器件和電路正常工作的決定性因素是圖形的準確對準,以及光刻膠上精確的圖形尺寸的形成。所以,涂好光刻膠后,第一步是把所需圖形在晶圓表面上準確定位或對準。第二步是通過曝光將圖形轉移到光刻膠涂層上。

5. 顯影

顯影是指把掩膜版圖案復制到光刻膠上。

6. 后烘(堅膜)

經顯影以后的膠膜發生了軟化、膨脹,膠膜與硅片表面粘附力下降。為了保證下一道刻蝕工序能順利進行,使光刻膠和晶圓表面更好地粘結,必須繼續蒸發溶劑以固化光刻膠。

7. 刻蝕

刻蝕是通過光刻膠暴露區域來去掉晶圓最表層的工藝,主要目標是將光刻掩膜版上的圖案精確地轉移到晶圓表面。

8. 去除光刻膠

刻蝕之后,圖案成為晶圓最表層永久的一部分。作為刻蝕阻擋層的光刻膠層不再需要了,必須從表面去掉。

二、光刻曝光技術的主要流程及每個步驟的意義

光刻工藝主要步驟

1. 基片前處理

為確保光刻膠能和晶圓表面很好粘貼,形成平滑且結合得很好的膜,必須進行表面準備,保持表面干燥且干凈,

2. 涂光刻膠

涂膠的目標是在晶圓表面建立薄的、均勻的,并且沒有缺陷的光刻膠膜。

3. 前烘(軟烘焙)

前烘的目的是去除膠層內的溶劑,提高光刻膠與襯底的粘附力及膠膜的機械擦傷能力。

4. 對準和曝光(A&E)

保證器件和電路正常工作的決定性因素是圖形的準確對準,以及光刻膠上精確的圖形尺寸的形成。所以,涂好光刻膠后,第一步是把所需圖形在晶圓表面上準確定位或對準。第二步是通過曝光將圖形轉移到光刻膠涂層上。

5. 顯影

顯影是指把掩膜版圖案復制到光刻膠上。

6. 后烘(堅膜)

經顯影以后的膠膜發生了軟化、膨脹,膠膜與硅片表面粘附力下降。為了保證下一道刻蝕工序能順利進行,使光刻膠和晶圓表面更好地粘結,必須繼續蒸發溶劑以固化光刻膠。

7. 刻蝕

刻蝕是通過光刻膠暴露區域來去掉晶圓最表層的工藝,主要目標是將光刻掩膜版上的圖案精確地轉移到晶圓表面。

8. 去除光刻膠

刻蝕之后,圖案成為晶圓最表層永久的一部分。作為刻蝕阻擋層的光刻膠層不再需要了,必須從表面去掉。

三、苯乙烯及氯乙烯懸浮聚合法的生產工藝及粒子的形成過程有何差別

期待看到有用的回答!

四、苯乙烯及氯乙烯懸浮聚合法的生產工藝及粒子的形成過程有何差別

期待看到有用的回答!

五、如何計算出漿紗的調漿工藝

要知道是什么品種.然后根據頭份才可以算.一般粗紗只要2袋小粉和油就OK了

六、如何計算出漿紗的調漿工藝

要知道是什么品種.然后根據頭份才可以算.一般粗紗只要2袋小粉和油就OK了

頂一下
(0)
0%
踩一下
(0)
0%
最新圖文
主站蜘蛛池模板: 夜色综合| 亚洲国产艾杏在线观看 | 日本在线看免费 | 色综合久久久久久久久五月 | 伊人网视频在线观看 | 欧美一区二区三区精品国产 | 亚洲va欧美ⅴa国产va影院 | 欧美又肥又胖的大bbwⅹ | 亚洲欧洲在线观看 | 色综合88| 日日爱夜夜操 | 日韩推理片在线免费看网站 | 亚洲精品视频区 | 一二三四手机在线观看视频播放 | 亚洲性大片 | 片成年免费观看网站黄 | 同房视频在线观看 | 婷婷激情丁香 | 亚洲国产日韩欧美在线a乱码 | 性色视频在线观看 | 欧美最猛性 | 天堂在线亚洲 | 日韩伦理在线视频 | 中文字幕在线视频第一页 | 午夜影库| 速度与激情9在线 | 青青草原免费在线观看 | 亚洲观看视频 | 中文字幕视频不卡 | 伊人黄色片 | 人人看人人爱 | 青青草综合 | 全免费观看一级 | 色婷婷一区二区三区四区成人 | 青青青在线视频国产 | 日本 国产 欧美 | 欧美爽爽爽爽爽爽视频 | 一级做a爰片久久毛片免费 一级做a爰片久久毛片美女图片 | 日本无人区码卡1 | 日韩小视频在线播放 | 午夜看毛片 |