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請問,被稱為芯片的“魄”,國產蝕刻機在世界上處于什么水平?

來源:m.2axaiv.cn???時間:2022-06-01 01:21???點擊:68??編輯:admin 手機版

據媒體報道,2018年12月,中微半導體設備(上海)有限公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機經臺積電驗證,性能優良,將用于全球首條5納米制程生產線。5納米,相當于頭發絲直徑(約為0.1毫米)的二萬分之一,將成為集成電路芯片上的最小線寬。臺積電計劃2019年進行5納米制程試產,預計2020年量產。▲半導體器件工藝制程從14納米微縮到5納,等離子蝕刻步驟會增加三倍刻蝕機是芯片制造的關鍵設備之一,曾一度是發達國家的出口管制產品。中微半導體聯合創始人倪圖強表示,中微與科林研發(Lam Research)、應用材料(Applied Materials)、東京威力科創(Tokyo Electron Limited)、日立全球先端科技 (Hitachi High-Technologies) 4家美日企業,組成了國際第一梯隊,為7納米芯片生產線供應刻蝕機。中微半導體如今通過臺積電驗證的5納米刻蝕機,預計能獲得比7納米更大的市場份額。中科院SP超分辨光刻機提問者所說的中國光刻機達到世界先進水平,應該是指2018年11月29日通過驗收的,由中國科學院光電技術研究所主導、經過近七年艱苦攻關研制的“超分辨光刻裝備”項目。該項目下研制的這臺光刻機是“世界上首臺分辨力最高的紫外(即22納米@365納米)超分辨光刻裝備”。這是一種表面等離子體(surfaceplasma,SP)超分辨光刻裝備。▲中科院研制成功并通過驗收的SP光刻機該光刻機在365納米光源波長下,單次曝光最高線寬分辨力達到22納米。結合雙重曝光技術后,未來還可用于制造10nm級別的芯片......中國的刻蝕機的確是達到了世界先進水平,光刻機還早,而且就算是這兩樣都世界先進了,不代表中國芯片業的前路就不艱辛了。目前中國的刻蝕機的確領先,5納米等離子體刻蝕機已經通過臺積電驗證;但是光刻機就差多了,之前新聞報道中提到的“中科院SP超分辨光刻機”其實最多只能算是一個“原型機”,和ASML的光刻機不能相提并論,也不能用來制造芯片,還需要攻克一系列的技術難題退一步講,就算是中國的光刻機與刻蝕機都達到世界領先就解決問題了么?ASML的EUV光刻機我們已經下單等待交貨了,是不是到貨以后中國就可以生產7nm甚至是5nm的芯片了不要把問題想簡單了,以為芯片也只有光刻機和刻蝕機。芯片制造的技術、經驗、工藝以及人才是一個系統性的工程,臺積電也不是一天建成的,有了光刻機也不代表我們就能造出最頂尖的芯片。

謝謝您的問題。國產蝕刻機處于全球領先水平,但基本是中微半導體公司一枝獨秀。

刻蝕機技術領先。目前總體看,中微半導體的介質刻蝕機、硅通孔刻蝕機處于全球前三名。中微半導體的介質刻蝕機已經被臺積電納入7nm、10nm制程生產線。刻蝕機制造工藝可以做到5nm,被臺積電驗證通過,比7nm有更大市場份額。中芯國際一半的刻蝕機都來自于中微半導體。

起點就不一樣。中微半導體是尹志堯、杜志游、倪圖強、等40多位半導體設備專家創辦了中微公司。尹志堯之前在美國已經從事20多年的半導體業務,帶領科研團隊,2004年創辦中微半導體,這些人覆蓋了多國別、多專業,是技術研發致勝的關鍵,團隊已經申請了1000多項專利。當時全球最先進的制程是90納米,中微半導體起步就研發40納米刻蝕機,提前了至少兩代。

蝕刻機是孤軍深入。蝕刻機是芯片制造的關鍵設備,雖然刻蝕機加工精度不斷提升,但是并不能意味我國芯片整體工藝制程大幅進步,我們必須有清醒的認識。

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